[发明专利]一种全局工艺角模型的建模方法在审
| 申请号： | 202111436051.5 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114117987A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 顾经纶;陈金明 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/39 | 分类号： | G06F30/39 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全局工艺角模型的建模方法，包括如下步骤：步骤S1，根据设计需求进行总工艺角建模，得到多个总工艺角模型参数及其值；步骤S2，设计一种和尺寸相关的全局工艺角模型系数，将该全局工艺角模型系数与每一个总工艺角模型参数值相乘，并将相乘后的参数作为全局工艺角模型参数值；步骤S3，调整全局工艺角模型系数中的参数来拟合全局工艺角模型使得全局工艺角模型符合目标值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全局 工艺 模型 建模 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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