[发明专利]一种用于测量铁基超导单晶面内电学性质的样品器件的制备方法在审
| 申请号： | 202111440009.0 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114323834A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 滕博伦;王靖珲;李军 | 申请（专利权）人： | 上海科技大学 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于测量铁基超导单晶面内电学性质的样品器件的制备方法。本发明的制备方法包括：将铁基超导单晶材料大幅减薄，在其平整的解理面上镀金，光刻并通过氩离子束刻蚀制作环形电极，再通过热蒸发仪喷镀绝缘层，光刻并制作第二层绝缘层作为电极保护层，最后通过光刻在保护层上制作引出电极图案，从而制备得到铁基超导微纳单晶测量器件。本发明以微纳加工技术作为基本工具，根据测量铁基超导单晶材料遇到的多种问题对电极方案进行了针对性改进。通过大幅减薄样品，制作电极并制作双层绝缘层电极结构，就可以得到铁基超导微纳单晶测量器件。这种完全基于微纳加工制备的器件能够解决测量铁基超导超导向列态时遇到的多种实验技术难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 超导 单晶面内 电学 性质 样品 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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