[发明专利]一种基于集成光学的可快速定制的压力传感器及定制方法有效
| 申请号： | 202111441051.4 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114136529B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 尹锐;曹令鑫;黄庆捷;吕琳 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 赵龙群 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于集成光学的可快速定制的压力传感器及定制方法，传感器包括金属外壳、压力块和马赫‑曾德尔结构的光学芯片，马赫‑曾德尔结构包括输入分路器、长度不等的两个干涉臂、输出合束器。当要求定制测量范围时，可根据不同的压力范围计算出器件所需的灵敏度，进一步确定压力块的形状。压力块的定制可通过3D金属打印或传统机加工完成，只需要1‑2天的周期即可完成快速定制。定制成本也远远低于传统的重新设计制作掩膜版的方式。本发明提出的方案可以实现高达0‑500MPa的测量范围，如爆炸压力测量；也可实现范围很小但灵敏度极高的压强测量，如真空度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 集成 光学 快速 定制 压力传感器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东大学，未经山东大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111441051.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
