[发明专利]离子氮碳硫多元共渗设备、处理系统及方法有效
| 申请号： | 202111443771.4 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114164395B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 何永勇;张哲浩;李杨;邵明昊;王政伟;董永康;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学;烟台大学 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36;C23C8/80 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供的离子氮碳硫多元共渗设备、处理系统及方法，设备包括：炉体；位于炉体内的工件盘；位于炉体内的工件盘上方的阳极板；位于炉体内的工件盘下方的辅助阴极；位于炉体内的工件盘、阳极板和辅助阴极外围的空心阴极筒；第一电源，用于为空心阴极筒和辅助阴极提供脉冲电压的第一电源；和用于为工件盘提供脉冲偏置电压的第二电源。系统包括：离子氮碳硫多元共渗设备、变压器、真空泵、供气瓶和电气控制柜。方法包括向炉体内通入含有氮、氢、碳和硫元素的气体，并控制第一电源和第二电源的关断。本公开可提高离子扩渗炉内的离子体密度，有效增加扩渗层厚度和表面硬度，以此提高扩渗质量，同时方便阳极清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 氮碳硫 多元 设备 处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;烟台大学，未经清华大学;烟台大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111443771.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：安全提示方法及装置、电子设备和存储介质
- 下一篇：柔性显示面板及显示装置
- 同类专利
- 专利分类
