[发明专利]偏振全息光栅的曝光系统及曝光方法在审
| 申请号： | 202111444331.0 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114236971A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 魏如东;饶轶;吾晓;赵恩;杨镇源 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 周礼涛 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种偏振全息光栅的曝光系统及曝光方法，曝光系统包括：光源，光源用于发射光线；第一相位延迟器，第一相位延迟器位于光源的传输路径上，光源发出的光线经过第一相位延迟器后形成具有第一偏振状态的第一圆偏振光；曝光样品，曝光样品位于第一相位延迟器远离光源的一侧，且曝光样品与第一相位延迟器呈夹角θ设置；第二相位延迟器，第二相位延迟器位于曝光样品远离光源的一侧；反射镜，反射镜位于第二相位延迟器远离光源的一侧。本申请利用光源发出的单束光线与其经过反射镜反射回的光线在曝光样品处形成干涉图案，实现偏振全息光栅的曝光，光路抗干扰能力强，便于制备光栅周期范围更广的偏振全息光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 全息 光栅 曝光 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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