[发明专利]一种大尺寸高品质钽铌酸钾陶瓷靶材的制备方法有效
申请号: | 202111448241.9 | 申请日: | 2021-11-30 |
公开(公告)号: | CN113956039B | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 王旭平;左香港;杨玉国;邱程程;张绍东;刘冰 | 申请(专利权)人: | 山东山科智晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/495 | 分类号: | C04B35/495;C04B35/622;C04B35/638 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 王磊 |
地址: | 250014 山东省济南*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于无机非金属材料领域,涉及人工晶体及功能陶瓷材料制备,具体涉及一种大尺寸高品质钽铌酸钾陶瓷靶材的制备方法。其制备方法为:时将钽铌酸钾晶体废料进行清洗获得陶瓷前体,将陶瓷前体破碎过筛获得前体粉末,将前体粉末与粘结剂混合后进行造粒,将造粒后的粉末依次进行干压成型、升温排胶、烧结,即得;其中,清洗钽铌酸钾晶体废料的过程包括:将钽铌酸钾晶体废料浸泡至酸溶液中去除碱性成分。本发明采用钽铌酸钾晶体废料为原料,实现了资源合理化再利用,制作过程中没有固相反应发生,因此烧结时间短,且制成的陶瓷靶材物相均一,尺寸可控。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺寸 品质 钽铌酸钾 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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