[发明专利]一种光栅耦合器有效
| 申请号： | 202111460079.2 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN114089482B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 张小平;张梦雨;王逸松;李铭晖 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G02B6/34 | 分类号： | G02B6/34;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100089 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光栅耦合器。该光栅耦合器包括：由下至上依次层叠在一起的衬底层、氧化层、波导层以及覆盖层。所述波导层的材料为半导体材料。所述波导层刻蚀有纳米/微米级弧段阵列结构光栅，所述弧段阵列结构光栅包括多个同心的圆弧段，相邻圆弧段之间为刻蚀槽，其中，近心圆弧段用于作为光信号输入端，远心圆弧段作为光信号输出端，所述近心圆弧段为最靠近圆心的圆弧段，所述远心圆弧段为最远离圆心的圆弧段，所述圆心为各所述圆弧段的圆心。所述圆弧段的宽度由进入所述光栅耦合器的光信号的波长确定。从所述近心圆弧段到所述远心圆弧段，各圆弧段的长度依次增加。本申请提供的光栅耦合器提高了光信号的耦合高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光栅 耦合器 | ||
【主权项】：
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