[发明专利]一种基于法布里-珀罗差压式传感器的气电转换器有效
| 申请号： | 202111468431.7 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114152385B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 李兵;李鹏飞;侯颖;兰梦辉;陈磊;韦学勇 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L13/00 | 分类号： | G01L13/00;G01L11/02;G01B13/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 段俊涛 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于法布里‑珀罗差压式传感器的气电转换器，主要由气路结构模块、法布里‑珀罗差压式传感器、中部壳体、上部壳体和气电转换控制仪组成。所述气路结构模块基于差压式气电转换器原理，即稳定的压缩空气进入到气电转换器的气路结构中，后气路分为两路：一路为调零气路，另一路为测量气路。在调零气路中，压缩气体沿气路经过可更换节流孔和调零阀流入大气；在测量气路中，压缩气体流经可更换节流孔后，再由测量头和被测工件之间的测量间隙流入大气。本发明采用高稳定性气路结构和基于MEMS工艺制造的法布里‑珀罗差压式传感器，大大提高了气动测量系统的精度、稳定性、分辨率和响应速度，并可以数字量输出形式与数控系统配套使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 法布里 珀罗差压式 传感器 转换器 | ||
【主权项】：
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