[发明专利]一种显微条件下物体Z轴方向的无接触高精度测量方法及其测量装置在审
| 申请号： | 202111468656.2 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114199140A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 陈津;陈炎楷 | 申请（专利权）人： | 天津市澳玛科技开发有限公司;陈津 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 董一宁 |
| 地址： | 300222 天津市河*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显微条件下物体Z轴方向的无接触高精度测量方法及其测量装置，其测量方法包括：步骤一：在载物云台上放置标准量块，使标准量块顶面与光学镜头的焦点重合，此时第一次清零光电测距传感器度数；步骤二：调整载物云台上升标准量块厚度，此时第二次清零光电测距传感器度数；步骤三：光学镜头的焦点与光电测距传感器的零点重合；步骤四：使载物云台上的待测物体顶面与光学镜头的焦点重合，并读取取光电测距传感器度数获取待测物体在Z轴方向厚度的绝对值。本发明可在狭小空间内检测Z轴方向物体厚度的绝对值，其精度可达到显微纳米级别，检测效率及检测精度明显优于现有技术。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显微 条件下 物体 方向 接触 高精度 测量方法 及其 测量 装置 | ||
【主权项】：
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