[发明专利]日盲紫外光电探测器及其制备方法

摘要

本发明提供一种日盲紫外光电探测器及其制备方法，日盲紫外光电探测器包括从下至上依次设置的基底、缓冲层、多周期薄膜层、金属叉指电极；多周期薄膜层至少为双层结构，多周期薄膜层的各层由GaN、AlxGa1‑xN和AlN中的任意两种或三种材料依次叠加构成。本发明提供的日盲紫外光电探测器及其制备方法，通过设置具有折射率差异的多层结构的多周期薄膜层，通过控制多周期薄膜层厚度、周期数实现可选择的对特定波段辐射的反射率增强，实现双波段日盲紫外光电探测的新思路，解决单一光学带隙半导体材料无法实现双波段探测的问题。