[发明专利]一种全对称的MEMS全硅摆式加速度计及惯性导航系统在审
| 申请号： | 202111472846.1 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114236178A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 宋运康;闫鑫;赵坤帅;熊恒;孙国良;王刚 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01C21/16;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 白瑶君 |
| 地址： | 710076 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于加速度计领域，涉及一种全对称的MEMS全硅摆式加速度计及惯性导航系统。加速度计为上下对称结构，包括：底支撑硅层、中间硅层、顶支撑硅层，以及介于中间硅层与底支撑硅层的底层隔离硅层，介于中间硅层与和顶支撑硅层之间的顶层隔离硅层；各硅层通过硅硅键合方式固连，通过氧化绝缘层进行电气绝缘；底支撑硅层和顶支撑硅层结构相同且镜像对称的硅层，底层隔离硅层和顶层隔离硅层结构相同且镜像对称的隔离硅层；隔离硅层用于隔离中间硅层和硅层之间的寄生电容，底支撑硅层、底层隔离硅层、顶层隔离硅层和顶支撑硅层都为中心对称结构；中间硅层沿自身的两个弹性梁的中垂线对称。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对称 mems 摆式 加速度计 惯性 导航系统 | ||
【主权项】：
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