[发明专利]一种宽量程电离真空计规管在审

专利信息
申请号: 202111472942.6 申请日: 2021-12-06
公开(公告)号: CN114354058A 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 张虎忠;李得天;成永军;孙雯君;葛金国;孙冬花;姚鹏;魏建平;习振华;杨利 申请(专利权)人: 兰州空间技术物理研究所
主分类号: G01L21/32 分类号: G01L21/32
代理公司: 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 代理人: 饶小平
地址: 730013 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 本申请涉及真空测量技术领域,具体而言,涉及一种宽量程电离真空计规管,包括阴极、阳极、收集极、以及法兰组件,其中:阴极为侧置式阴极,位于阳极侧面;阳极为笼式半封闭栅网,收集极为细丝状收集极;阴极发射的电子经栅网进入栅网内部,在栅网内部多次振荡后,被收集极接收;法兰组件为宽量程电离真空计规管的真空系统的机械接口。本申请的宽量程电离真空计规管,既能够抑制电极漏放气的影响,还能具有较高灵敏度。
搜索关键词: 一种 量程 电离 真空计
【主权项】:
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