[发明专利]金属镀膜的成膜装置和成膜方法

摘要

本发明涉及金属镀膜的成膜装置和成膜方法。提供用于采用固相置换型无电镀法形成具有厚膜厚的金属镀膜的装置和方法。成膜装置，其用于采用固相置换型无电镀法在第二金属的镀膜上形成第一金属，包含：用于设置具有第二金属镀膜的基材的导电性的装载台、在装载台上设置的第三金属、在装载台上设置的绝缘性材料、用于浸渍包含第一金属的离子的置换型无电镀浴的微多孔膜、在开口部设置微多孔膜的置换型无电镀浴的镀浴室、使微多孔膜与第二金属镀膜接触后用于将镀浴室与基材相对地挤压的挤压手段，第三金属具有比第一金属和第二金属大的离子化倾向，在设置了具有第二金属的镀膜的基材时绝缘性材料设置在基材与第三金属之间以致与各个材料相接。