[发明专利]一种可测结构精度的纳米压印设备及压印方法有效
| 申请号： | 202111487129.6 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114253066B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出一种可测结构精度的纳米压印设备及压印方法，包括腔体和位于腔体上的左侧门、右侧门，还包括压印单元，检测单元和传输单元；检测单元位于腔体右侧，与右侧门相邻，包括晶圆托盘，XY轴位移平台，膜厚检测探头；传输单元位于压印单元和检测单元之间，简化测试流程，提高工作效率，避免遗漏缺陷，实现检测自动化节约人力物力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 精度 纳米 压印 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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