[发明专利]异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构在审
| 申请号： | 202111487569.1 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114164408A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 魏科胜;薛建锋;余义 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;H01L31/18;C23C14/08 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 别亮亮 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构，需要对靶材进行清理时，驱动组件带动清理环沿靶材的延伸方向移动，从而使得靶材插入清理腔内，进而能够利用至少两个清理件对靶材的表面进行清理，能够将搭在靶材与挡板之间的破损的硅片的碎片进行清理，避免靶材发生短路；同时，还能够对靶材表面上的粉尘进行清理，减少溅射过程中的原核点，还能减少靶材结瘤，提高镀膜品质，生产的薄膜的性能优良；并且，不需进行降温开腔清理，从而不需在清理后进行抽真空与升温，生产效率高，提高了产能。 | ||
| 搜索关键词： | 异质结 太阳电池 生产 系统 清理 机构 | ||
【主权项】：
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