[发明专利]一种小尺寸极限电流型氧化锆氧传感器芯体及其制备方法在审
| 申请号： | 202111489395.2 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN114062464A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 高峰;孙志檬;李春贺;刘皓;孙俊杰 | 申请（专利权）人： | 明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司;明石创新产业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;G01N27/409;G01N27/417;C23C14/08;C23C14/14;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 潘剑敏 |
| 地址： | 264006 山东省烟台市经济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及氧传感器技术领域，特别涉及一种小尺寸极限电流型氧化锆氧传感器芯体，自上而下依次包括多孔Pt电极阳极层、YSZ固体电解质层、多孔Pt电极阴极层、绝缘层和加热电极层，多孔Pt电极阳极层、多孔Pt电极阴极层和加热电极层均连接有导电丝。以此减少YSZ固体电解质层的层数，减少测氧时氧气的扩散路径，进而降低响应时间，使其快速响应。同时，还提供了相应的制造方法，采用该方法可以制造微米级尺寸芯体；芯体各功能层的总厚度在1.1μm‑24μm，很大程度上降低了芯体的厚度，进而在后续加热处理时可以降低功耗并改善加热不均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 极限 电流 氧化锆 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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