[发明专利]具有点到点聚焦的扫描装置在审
| 申请号： | 202111492422.1 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN114675288A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | J·辛德林;A·沃尔泽;T·迈尔;H·拜尔;O·罗勒 | 申请（专利权）人： | 赫克斯冈技术中心 |
| 主分类号： | G01S17/42 | 分类号： | G01S17/42;G01S7/481;G01B11/00;G02B7/09 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;张亚静 |
| 地址： | 瑞士赫*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及具有点到点聚焦的扫描装置。一种以每秒至少一千个对象点(P、Px、P1、P2、P3)的测量速率来测量对象表面的方法和光电测量装置(1)。使用处于发射射束路径(9)中的高速自动聚焦光学模块，所述高速自动聚焦光学模块包括具有1ms以下的响应时间的至少一个可变焦距透镜(2、2a)或可重构光学相位板，在单个对象点测量周期内进行测量射束的实时焦点调整。 | ||
| 搜索关键词： | 有点 到点 聚焦 扫描 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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