[发明专利]电容式薄膜真空计检测电路、真空计及真空度检测方法有效
| 申请号： | 202111495832.1 | 申请日： | 2021-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN113899494B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 王松杰;汤一;王杰;宋冬谊;高乐;韩雪飞;廖兴才;林立男;张永斌 | 申请（专利权）人： | 北京晨晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 乔慧 |
| 地址： | 100020*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电容式薄膜真空计检测电路、真空计及真空度检测方法，本发明提供的电容式薄膜真空计检测电路、真空计及真空度检测方法，通过独立且反相的载波信号分别对薄膜电容的内环电容信号和外环电容信号进行调制，对调制后的内环电容信号和外环电容信号进行求和得到电容差值信号，进而换算得到真空度检测结果，由于调制后的内环电容信号和外环电容信号通过求和的方式即可获得电容差值，对电路中器件的性能要求较低，能够保证真空度检测结果线性度更高且更加稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 薄膜 真空计 检测 电路 真空 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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