[发明专利]一种相干阵激光器的无透镜聚焦装置及方法有效

专利信息
申请号: 202111498665.6 申请日: 2021-12-09
公开(公告)号: CN114188815B 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 王智勇;代京京;兰天 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: H01S5/00 分类号: H01S5/00;H01S5/40
代理公司: 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 代理人: 林聪源
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种相干阵激光器的无透镜聚焦装置及方法,包括:相干阵激光器、二元光学微结构基底和二元光学微结构;二元光学微结构通过二元光学微结构基底设置在相干阵激光器的输出端上,二元光学微结构的结构微元、二元光学微结构基底的结构微元基底和相干阵激光器的激光单元上下相对应,在相位调制结构阵列后得到聚焦光束。本发明利用二元光学微结构,使阵列光束产生相位延迟,实现无透镜聚焦效果;同时,本发明的二元光学微结构采用半导体工艺技术制备在芯片上,消除了传统透镜制造工艺复杂、尺寸大、重量大的局限以及外搭光路造成的误差;结构简洁,制备工艺简单便宜,实现方便。
搜索关键词: 一种 相干 激光器 透镜 聚焦 装置 方法
【主权项】:
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