[发明专利]一种面向炉内清洁环境条件下熔液的高温传感器有效
申请号: | 202111501061.2 | 申请日: | 2021-12-09 |
公开(公告)号: | CN114061771B | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 张旭 | 申请(专利权)人: | 南通奥海科技有限公司 |
主分类号: | G01K1/12 | 分类号: | G01K1/12;C04B35/10;C04B35/64 |
代理公司: | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人: | 王清伟 |
地址: | 226000 江苏省南通市崇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种面向炉内清洁环境条件下熔液的高温传感器,属于高温传感器技术领域,包括温度感知元件、长型绝缘套管、长型保护管、T型法兰盘和温度转换模块;长型保护管的前端密封,长型保护管内封装有长型绝缘套管,长型保护管的后端内侧和长型绝缘套管连接,长型绝缘套管的通孔中安装有温度感知元件,温度感知元件前端同长型保护管前端内部接触或者不接触,温度感知元件的后端同温度转换模块连接,长型保护管后端外侧同T型法兰盘套接,高温传感器工作时,长型保护管浸入高温熔液感知温度或长型保护管不浸入高温熔液感知硅蒸汽温度。本发明高温传感器能够直接测量单晶炉内洁净熔液,具有高精度、耐高温、耐腐蚀、热震性好、成本低等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 面向 清洁 环境 条件下 高温 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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