[发明专利]一种用于光刻机的压紧装置在审
| 申请号： | 202111503136.0 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114047674A | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 王华;甘泉 | 申请（专利权）人： | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人： | 成伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光刻机的压紧装置，涉及光刻机技术领域，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，压边升降机构可带动水平位移机构和滚轮定位机构做升降运动；压边升降机构包括升降气缸和升降座，升降气缸可驱动升降座做升降运动；水平位移机构包括位移马达和位移丝杆，位移马达可驱动位移丝杆水平移动；滚轮定位机构包括滚轮定位支架和滚轮定位座。本发明压紧装置的压边升降机构和水平位移机构联动工作，使滚轮定位座和压边滚轮能够做升降、水平运动，压边滚轮能够将PCB在竖直方向压平，保证PCB的稳定性，从而能够保证光刻加工的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 压紧 装置 | ||
【主权项】：
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