[发明专利]一种双龙门光刻机及其加工方法在审
| 申请号： | 202111503155.3 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114019768A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 王华;甘泉 | 申请（专利权）人： | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人： | 成伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种双龙门光刻机及其加工方法，涉及光学加工技术领域，包括基座、双龙门、光学机构、对位机构和工作台机构，光学机构和对位机构均连接于双龙门上；光学机构包括光刻镜头，光刻镜头和镜头移动板；对位机构包括对位相机；工作台机构包括上工作台和下工作台，上工作台上设有丝杠升降机构，上工作台通过丝杠升降机构对台面垂直升降；下工作台上设有斜块升降机构，下工作台通过斜块升降机构对台面垂直升降；本发明的上工作台通过丝杠升降机构垂直升降台面，下工作台通过斜块升降机构对台面垂直升降台面，丝杠升降机构的结构简单，重量低，占用空间小；本发明通过上工作台和下工作台的紧密配合工作，提高了工作效率，且不易产生误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 龙门 光刻 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东科视光学技术股份有限公司，未经广东科视光学技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111503155.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
