[发明专利]基于固支梁结构的双晶压电式MEMS麦克风在审
| 申请号： | 202111505684.7 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114222231A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;刘文娟;杨超翔;胡博豪;王雅馨;林炳辉 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02;H04R7/10 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 齐晨涵 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于固支梁结构的双晶压电式MEMS麦克风，包括具有空腔的基底；正对空腔设置的压电振膜，压电振膜采用多根固支梁结合的结构，即梁的两端均固定在衬底上，梁的中心均处于同一位置；正对压电振膜设置的接收膜，接收膜与压电振膜之间采用介质层连接；固支梁型压电振膜将电极划分为四个区域，采用有序的电连接方式，将各固支梁串联起来；电极分为顶部电极、中部电极和底部电极，顶部电极和底部电极均只有一层，中部电极由两层电极组成。本发明采用了接收膜的结构以解决固支梁结构之间的大间隙所带来的低频响应问题，并且采用特殊的中部电极设计，极大地提高了双晶压电式MEMS麦克风的输出灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 固支梁 结构 双晶 压电 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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