[发明专利]用AFM-IR检测微纳米粗糙的铜箔表面有机物分布的方法在审
| 申请号： | 202111513883.2 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114199806A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 王晓亮;薛奇;李剑;封成东;李林玲;周东山 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01N21/35 | 分类号： | G01N21/35;G01N21/3563;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210008 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 用AFM‑IR检测微纳米粗糙的铜箔表面有机物分布的方法，应用基于原子力显微成像‑红外光谱技术对PCB用铜箔表面任意一点进行红外光谱全谱扫描，获取铜箔表面吸附的硅烷偶联剂的红外特征吸收谱图，选择谱图中的硅烷偶联剂强度最大的特征峰作为AFM‑IR的红外检测波长，然后用这一检测波长对5μm×5μm区域进行扫描以获取该区域内的硅烷偶联剂的信号强度分布数据，使用数据处理软件进行数据处理，生成铜箔表面硅烷偶联剂的三维立体分布图像，表征硅烷偶联剂的空间分布状态。 | ||
| 搜索关键词： | afm ir 检测 纳米 粗糙 铜箔 表面 有机物 分布 方法 | ||
【主权项】：
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