[发明专利]一种基于MEMS微振镜光路结构及其消散斑方法有效
| 申请号： | 202111513916.3 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114265196B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 程进;徐乃涛;孙其梁;贺小凤;谢一博 | 申请（专利权）人： | 无锡微视传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B27/48 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 崔婕 |
| 地址： | 213400 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS微振镜光路结构的消散斑方法，包括以下步骤：S1、通过激光发射器将激光通过透镜投射到一维MEMS微振镜a上，一维MEMS微振镜a从静止状态，转变为镜面在垂直方向上存微小、高频的振动；S2、激光经一维MEMS微振镜a的全反射投射到一维MEMS微振镜b上，线激光经过一维MEMS微振镜b后被投射至漫反射标准板；S3、激光在漫反射标准板上呈现带有散斑的图案；图像传感单元计算散斑半径和散斑对比度，并将散斑半径值与散斑对比度反馈至消散斑控制单元；S4、消散斑控制单元根据得到的散斑对比度C，计算角度变化参数，并将其反馈给一维MEMS微振镜a，控制MEMS微振镜a振动；S5、角度反馈单元将角度θ以及频率f参数反馈至激光发射器，进行实时控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 微振镜光路 结构 及其 消散 方法 | ||
【主权项】：
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