[发明专利]带有磁致应变源的GeSn发光二极管及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111517799.8 申请日: 2021-12-13
公开(公告)号: CN115548185A 公开(公告)日: 2022-12-30
发明(设计)人: 张庆芳;陈芊羽;张吉涛;卢温翔;曹玲芝 申请(专利权)人: 郑州轻工业大学
主分类号: H01L33/12 分类号: H01L33/12
代理公司: 郑州大通专利商标代理有限公司 41111 代理人: 高为宝
地址: 450000 *** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明属于光电子集成电路技术领域,具体涉及带有磁致应变源的GeSn发光二极管及其制备方法。发光二极管包括由下至上依次设置的衬底层、驰豫层和有源区,有源区包括由下至上依次设置的n型层、本征层和p型层;驰豫层和有源区的材料均为GeSn;有源区为空心结构、且有源区内设置有应变源,应变源底部延伸至驰豫层,应变源周围及底面用绝缘层隔离其与有源区、驰豫层的接触。应变源还可以延伸至驰豫层底部,应变源外的绝缘层将其与有源区、驰豫层和衬底层隔开。应变源由超磁致伸缩材料组成。有源区顶部设置第一金属电极。驰豫层上设置第二金属电极。本发明通过应变源可以向有源区引入较大的张应变,最终可以提高应变GeSn发光二极管的光发射效率。
搜索关键词: 带有 应变 gesn 发光二极管 及其 制备 方法
【主权项】:
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