[发明专利]一种具有薄膜镀层的吸气剂及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202111519069.1 申请日: 2021-12-10
公开(公告)号: CN114318233A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 冯焱;宋伊;成永军;孙雯君;裴晓强;邱云涛 申请(专利权)人: 兰州空间技术物理研究所
主分类号: C23C14/16 分类号: C23C14/16;C23C14/35;C22C16/00;C22C1/08;B22F3/11;B01J20/28;B01J20/02;B01J20/32;B01J20/30
代理公司: 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 代理人: 饶小平
地址: 730013 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 发明提供一种具有薄膜镀层的吸气剂及其制备方法和应用,涉及新材料领域。该具有薄膜镀层的吸气剂,包括吸气剂基材及其表面的薄膜镀层,吸气剂基材的原料包括Zr粉和ZrVFe合金粉末,薄膜镀层为Ni层。Ni层可使H2分子在吸气剂表面的解离能降低,提高吸气剂的吸气性能,也可有效阻止O2等活性气体对吸气剂基材的氧化,从而降低吸气剂的激活温度。本发明提供的具有薄膜镀层的吸气剂可以在300~450℃烘烤过程中实现激活,能够很好地避免在激活过程中对器件的损伤。吸气剂激活后在室温条件下具有良好的吸气性能,可吸收电真空器件中的活性气体,提供器件封离后所需的真空度,保证器件的寿命及稳定性和可靠性。
搜索关键词: 一种 具有 薄膜 镀层 吸气 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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