[发明专利]一种PERC电池片的制作工艺在审
| 申请号： | 202111523069.9 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114256383A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 戴睿哲;郑清吉;王玉浩;高柳;眭山;芮亚豪 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能(成都)有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/068 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 衡滔 |
| 地址： | 610000 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种PERC电池片的制作工艺，涉及光伏产品制备技术领域。PERC电池片的制作工艺，其包括对P型硅片依次进行的：制绒、扩散、SE激光掺杂、热氧化、抛光、退火、背面镀膜、正面镀膜、激光开槽、丝网印刷和烧结；在热氧化时，先通入携带磷源的氮气和氧气进行热处理，再通入氮气和氧气进行氧化；在SE激光掺杂和激光开槽时，控制激光处理产生的光斑间隔设置，且相邻光斑的间距为15μm～30μm。本申请实施例的PERC电池片的制作工艺尤其适用于薄片电池的制作，保证薄片电池的转换效率，同时减少碎片不良的比例。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 perc 电池 制作 工艺 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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