[发明专利]一种激光热解复合增材制造一体化前驱体陶瓷薄膜传感器及其制备方法在审
申请号: | 202111524535.5 | 申请日: | 2021-12-14 |
公开(公告)号: | CN114322741A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 孙道恒;海振银;徐礼达;李兰兰;崔在甫;武超;陈国淳;李鑫;陈沁楠;何功汉 | 申请(专利权)人: | 厦门大学 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16;B33Y10/00;B33Y40/10;B33Y80/00 |
代理公司: | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人: | 高巍 |
地址: | 361005 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光热解复合增材制造一体化前驱体陶瓷薄膜传感器及其制备方法,以金属构件或绝缘材料作为基底,针对金属构件表面通过逐层激光热解增材技术形成高致密性、高绝缘性以及抗高温的PDC掺杂的复合绝缘膜层,并在复合绝缘膜层上通过维森堡直写PDC掺杂填料的敏感栅,经激光热解增强PDC石墨化的方法获得优良导电性能的应变敏感层,从而开创以PDC材料为基础的高绝缘膜层和优良导电性能的敏感栅与金属基底的激光原位增材一体化制造,实现了PDC复合材料从“液‑固‑功能”转变的激光工艺流程,并成功将其应用于金属材料应变传感。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 复合 制造 一体化 前驱 陶瓷 薄膜 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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