[发明专利]一种紫外光刻物镜在审
| 申请号： | 202111525964.4 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN116263568A | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 洪小苗 | 申请（专利权）人： | 苏州艾线光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B13/00 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人： | 程华 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种紫外光刻物镜，该光刻投影物镜包括从物面到像面依次排列的第一镜组、第二镜组和第三镜组，第一镜组包含第一正透镜组，第二镜组包含从物面到像面依次排列的第一负透镜组、第二正透镜组和第二负透镜组，第三镜组包含从物面到像面依次排列的第三正透镜组、第三负透镜组和第四负透镜组。本发明通过设置三组透镜组，使得整个系统的成像质量良好，实现亚微米级别的光刻成像，无需增加管镜，不仅可以使得物镜的成像视场扩大，还能使得系统整体光路变短。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光刻 物镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州艾线光电科技有限公司，未经苏州艾线光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111525964.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种熏肉的加工方法
- 下一篇：一种用于保证船用柴油机排气管开孔精度的工装
