[发明专利]一种体声波传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202111526755.1 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN116263342A | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王宇航;赖志国;杨清华 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/48 | 分类号： | G01D5/48 |
| 代理公司： | 北京元合联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11653 | 代理人： | 李非非 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种体声波传感器的制造方法，包括：提供衬底并在该衬底上形成第一布拉格反射层；在所述第一布拉格反射层上依次形成下电极、压电层以及上电极，所述上电极、所述压电层、所述下电极以及所述第一布拉格反射层在传感器厚度方向上形成有重叠区域，所述下电极包括下电极主体部以及下电极框架部，所述下电极框架部形成在所述下电极主体部上且位于所述重叠区域的边缘处，其中，所述下电极框架部包括第一凸起部和/或第一凹陷部；在所述上电极上形成第二布拉格反射层。本发明还提供一种体声波传感器。本发明可以提升器件的Q值、灵敏度以及简化制造工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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