[发明专利]一种高温声表面波应变传感器的高精度测试方法有效
| 申请号： | 202111536876.4 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN114485498B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 董树荣;张季恺;付从艺;金浩;骆季奎 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B17/04 | 分类号： | G01B17/04;G01B7/16 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 310007 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明为一种高温声表面波应变传感器的高精度测试方法，通过在声表面波高温应变传感器产生瑞利波模式两个谐振频率，此两谐振频率处于同一个传感器，采用同一个粘结，所以受到相同的应变传递比例，又因为是同样的瑞利波的SAW结构，所以两个谐振频率的温度系数和应变传底系数一样，但是两谐振频率对应变的敏感程度却有明显差异；利用此传感器的两谐振频率的应变灵敏度差值能够有效将应变传递比例、温漂等温度效应与被测应变的效应分离开来，大幅提升高温应变测试的精度和可重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 表面波 应变 传感器 高精度 测试 方法 | ||
【主权项】：
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