[发明专利]基于金属-介质条形阵列的超分辨透镜的制备方法及应用有效
| 申请号： | 202111538112.9 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN114114481B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;罗云飞;刘凯鹏;谷雨;高平;赵泽宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王文思 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种基于金属‑介质条形阵列的超分辨透镜的制备方法，包括：对第一衬底上的第一材料层进行光刻，得到光栅结构；交替沉积第二、第三材料层，直至将光栅结构填平，得到第一过渡结构，第二、第三材料层中一种为金属，另一种为介质；对第一过渡结构进行平坦化，其深度至少达到光栅结构的顶部，得到第二过渡结构；将其上表面与第二衬底进行固化；去除第一衬底，使第二过渡结构翻转至第二衬底上，得到第三过渡结构；再次进行平坦化，平坦化的深度至少达到最后一次沉积的第二材料层或第三材料层的顶部，得到基于金属‑介质条形阵列的超分辨透镜。本公开得到的超分辨透镜，入射光只沿着金属‑介质界面处传输，有效提升了能量利用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 金属 介质 条形 阵列 分辨 透镜 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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