[发明专利]一种用于狭缝涂布设备的高均匀性涂头装置及其使用方法有效
申请号: | 202111540091.4 | 申请日: | 2021-12-15 |
公开(公告)号: | CN114192342B | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 刘生忠;杜敏永;王辉;王开;段连杰;曹越先;孙友名;王立坤 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | B05C1/08 | 分类号: | B05C1/08;B05C11/10;B05C13/02;B05D1/28;B05D3/00 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 徐华燊;李洪福 |
地址: | 116000 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明提供一种用于狭缝涂布设备的高均匀性涂头装置及其使用方法,装置为免打料泵系统的第一涂头装置或带有打料泵系统的第二涂头装置,该涂头装置既可用于免打料泵系统的狭缝涂布设备,也可用于常规的带有打料泵系统的狭缝涂布设备。第一涂头装置主要包括耐腐蚀的不变形材质的半片涂头、光滑耐腐蚀的不变形材质的圆柱型滚轮、耐腐蚀的不变形材质的弹簧管以及可精密调节的压力计。工作过程中,通过支架实现涂头装置的升降,使滚轮底部外表面与衬底表面充分接触,运行平台带着衬底水平移动,目标溶液经容纳腔室流至滚轮外表面,利用滚轮的滚动将目标溶液连续均匀涂敷在衬底表面形成薄膜。本发明可大面积、连续性,高均匀性的涂敷溶液,有更低成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 狭缝 布设 均匀 性涂头 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
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