[发明专利]一种单片集成激光陀螺芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 202111542212.9 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114413875B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王斌;张奕泽;张天禹 | 申请（专利权）人： | 光子集成（温州）创新研究院 |
| 主分类号： | G01C19/72 | 分类号： | G01C19/72 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 325011 浙江省温州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单片集成激光陀螺芯片，包括InP晶片、SOI结构、激光器、第一MZM调制器及第二MZM调制器；激光器、第一MZM调制器及第二MZM调制器通过InP晶片设在SOI结构上；SOI结构内设有传输波导和螺旋线型波导；传输波导包括第一波导和第二波导，激光器、第一波导、第二波导、第一MZM调制器、第二MZM调制器及螺旋线型波导依次连接且相互对准；激光器用于产生连续激光；第一MZM调制器用于对连续激光的光强进行调制，得到调制后激光；第二MZM调制器的两臂用于将调制后激光分为功率相等的两束激光，两束激光分别从螺旋线型波导的两端进入螺旋线型波导。能够解决激光器、第一MZM调制器、第二MZM调制器及螺旋线型波导之间位置对准难度高，调试困难的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单片 集成 激光 陀螺 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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