[发明专利]微环调制器有效
| 申请号： | 202111544976.1 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114035348B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 张宇光;肖希;王磊;胡晓;陈代高 | 申请（专利权）人： | 武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025;G02F1/035 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 徐雯;蒋雅洁 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供的微环调制器，包括：衬底层；位于所述衬底层上的平板波导层；并列设置在所述平板波导层中的耦合波导及微环谐振结构，所述微环谐振结构包括沿所述衬底层厚度方向依次层叠设置的第一掺杂结构和第二掺杂结构，所述第一掺杂结构与所述第二掺杂结构的掺杂类型相反；以及与所述微环谐振结构电连接的电极。 | ||
| 搜索关键词： | 调制器 | ||
【主权项】：
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