[发明专利]一种氧化铟钽钇粉体及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111548178.6 申请日: 2021-12-15
公开(公告)号: CN114163217A 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 周明;邵学亮;李开杰;张来稳 申请(专利权)人: 先导薄膜材料(广东)有限公司
主分类号: C04B35/01 分类号: C04B35/01;C04B35/626;C23C14/08;C23C14/34
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;郝传鑫
地址: 511517 广东省清*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种氧化铟钽钇粉体及其制备方法,属于铟钽钇氧化物的制备领域。所述氧化铟钽钇的化学式为In1‑x‑yTaxYyO,其中,x值在0.001‑0.1之间,y值在0.001‑0.2之间。所述粉体的D50=0.421‑0.452μm,D10≥0.209μm,D90≤0.638μm,粒度分布系数P=(D90‑D10)/D50≤0.902。本发明从现有技术出发,针对氧化铟粉体掺杂大粒径稀有金属元素时出现的成分不均一的问题,提供一种氧化铟钽钇粉体及其制备方法,采用该方法可以制备出成分均一的氧化铟钽钇粉体,在实际应用中,利用该氧化铟钽钇粉体结合后续烧结工艺可以制备出组织均匀、具备优良光电特性的高密度氧化铟钽钇靶材。
搜索关键词: 一种 氧化 铟钽钇粉体 及其 制备 方法
【主权项】:
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