[发明专利]超振荡环带片共焦成像系统的样品实时定焦装置与方法有效
| 申请号： | 202111551560.2 | 申请日： | 2021-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114236799B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 刘涛;万超;胡佳琪;王智彬;赵书浩;杨树明 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G01N21/64 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 段俊涛 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 超振荡环带片共焦成像系统的样品实时定焦装置，包括主光路和辅助定焦光路；主光路由激光器、单模光纤、第一准直透镜、超振荡环带片、显微物镜、分光棱镜、管镜、CCD等组成，辅助定焦光路由白光LED光源、Y型多模光纤、第二准直透镜、分光棱镜、色散物镜、光谱仪等组成；其中色散物镜与显微物镜处于同一位置，替换使用；相应的样品实时精确定焦方法：在辅助定焦光路，利用光谱仪获得与样品下表面、超振荡环带片上表面对应的峰值波长；然后利用激光干涉仪对辅助定焦光路精确标定，得到波长‑位移校准关系曲线；最后利用标定后的辅助定焦光路在原位实时测量超振荡环带片和样品之间Z向距离，并垂直移动样品将其定焦至超振荡环带片的最佳焦平面处。 | ||
| 搜索关键词： | 振荡 环带 片共焦 成像 系统 样品 实时 装置 方法 | ||
【主权项】：
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