[发明专利]扩大测量区间的真空度测量装置及制备方法在审
| 申请号： | 202111553105.6 | 申请日： | 2021-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114235266A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 关若飞;陈贵东;戴鑫;毛海央 | 申请（专利权）人： | 江苏创芯海微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种皮拉尼计真空计，尤其是一种扩大测量区间的真空度测量装置及制备方法。按照本发明提供的技术方案，所述扩大测量区间的真空度测量装置，包括衬底；在所述衬底上采用MEMS工艺制备所需的皮拉尼计单元以及微压传感单元，在所述衬底内设置与微压传感单元正对应的微压传感背腔以及制备于所述微压传感背腔内的微压检测块。本发明能有效提高真空度的测量区间，与现有工艺兼容，降低使用的成本，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 扩大 测量 区间 真空 装置 制备 方法 | ||
【主权项】：
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