[发明专利]一种无源真空维持吸气合金的制备方法及其应用在审

专利信息
申请号: 202111553116.4 申请日: 2021-12-17
公开(公告)号: CN114231814A 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 鲁涛 申请(专利权)人: 上海晶维材料科技有限公司
主分类号: C22C28/00 分类号: C22C28/00;C22C30/00;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/30;C23C14/35;B01D53/22
代理公司: 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 代理人: 邵玉龙
地址: 201800 上海市嘉定*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种无源真空维持吸气合金的制备方法及其应用,所述材料合金配方如下:主体元素46wt%‑99wt%、M10‑45.9wt%、M20‑20wt%;其中,所述主体元素为Y、Sc中的一种或两种;其它元素也是假日其中的一种或者其它元素的复合添加;主体元素为46wt%‑80wt%,所述M1为0%‑44wt%,M1为Ti和Zr的一种或者两种混合物,其含量为Ti、Zr分别0.1wt%‑44wt%;所述M2为0‑20wt%,M1为W和Mo的一种或者两种混合物,其分别0‑20wt%。本发明能够在较低的激活温度被激活,在室温及低环境压力下,具备高的吸收氢和一氧化碳的能力,其比表面高和孔隙度大,合金的吸气平衡压降低,有利于合金的吸气性能,能够使器件在无源真空环境下,维持器件的真空环境。
搜索关键词: 一种 无源 真空 维持 吸气 合金 制备 方法 及其 应用
【主权项】:
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