[发明专利]一种高硬度自润滑多层薄膜及制备方法有效
| 申请号： | 202111558886.8 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114438459B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 徐照英;邓川宁 | 申请（专利权）人： | 重庆文理学院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C4/134;C23C4/06;C03C12/00;C03C6/04;C23D5/02;C21D1/18;C23C28/00 |
| 代理公司： | 重庆晶智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 50229 | 代理人： | 李靖 |
| 地址： | 402160 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： |
一种高硬度自润滑多层薄膜，由基体表面向外依次为TiC层、TiCN层组成的连续过渡层、TiAlN层和CuTiSiC层复合形成的高硬度耐磨层，耐磨层表面覆有Mo/CaF |
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| 搜索关键词： | 一种 硬度 润滑 多层 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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