[发明专利]一种正性聚酰亚胺树脂组合物有效
| 申请号： | 202111562765.0 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114200775B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 苏江华;王胜林;黎厚明 | 申请（专利权）人： | 深圳市道尔顿电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/008;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人： | 周新楣 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区凤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于材料科学技术领域，本发明公开了一种正性聚酰亚胺树脂组合物，包括以下重量份的组分：聚酰亚胺树脂100份、萘醌二叠氮化合物1～50份、热交联性化合物10～200份、硅烷偶联剂0.01～5份、酚式羟基化合物10～15份、助剂0～5份、溶剂50～2000份。本发明所制备的正性聚酰亚胺树脂组合物，用于显影时既能保持高的留膜率及高的解析度，又能确保显影后的图案边缘无残留。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚酰亚胺 树脂 组合 | ||
【主权项】：
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