[发明专利]用于柔性充气展开结构测量的柔性压力传感器制备方法在审
| 申请号： | 202111565021.4 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114235234A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 林国昌;张雪林;王文龙 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学;北京空间飞行器总体设计部 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 郭莹莹 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 用于柔性充气展开结构测量的柔性压力传感器制备方法，属于柔性压力传感器制备技术领域。该制备方法，可以获得具有不同高灵敏度以宽线性范围的柔性压力传感器。包括以下步骤：S1.在合金表面制备具有分级结构的微弧氧化陶瓷膜作为模板；S2.在微弧氧化陶瓷膜表面浇注液态高分子聚合物；S3.高分子聚合物固化进行陶瓷膜表面微结构的拓印；S4.剥离出获得微结构的高分子聚合物薄膜；S5.在高分子聚合物薄膜表面进行电极的制备；S6.两个高分子聚合物薄膜组装成压力传感器。本发明采用具有分级结构的陶瓷膜作为拓印模板，拓印模板可以根据要求自行设计和制备，从而可以获得具有不同高灵敏度、宽线性范围以及压力测量范围的柔性压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 柔性 充气 展开 结构 测量 压力传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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