[发明专利]一种多方位同步相移横向剪切干涉装置及测量方法在审
| 申请号： | 202111568339.8 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114323580A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 朱学亮;王凯;田爱玲;刘丙才;王红军;朱亚辉;王思淇;张郁文 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01M11/04 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明为一种多方位同步相移横向剪切干涉装置及测量方法，其克服了现有技术中存在的剪切方向单一、测量精度低的问题，本发明剪切方向任意、测量精度高、可应用于车间检测。本发明包括依次设置的测试元件、分光元件、剪切单元、分光系统、定向偏振片阵列和CMOS相机，由偏振片双折射晶体和四分之一波片复合而成的剪切单元与自动控制单元连接，自动控制单元与计算机连接，CMOS相机与自动控制单元和计算机连接，分光元件一侧设置有激光光源。平行剪切偏振器由偏振片、双折射晶体和四分之一波片复合而成，其中偏振片的透光轴方向与x轴的夹角为0°，双折射晶体的光轴与x轴的夹角为45°，四分之一波片的快轴与x轴的夹角为45°。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多方位 同步 相移 横向 剪切 干涉 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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