[发明专利]一种离子掺杂晶体生产设备及其生产工艺在审
| 申请号： | 202111574677.2 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114197040A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 罗毅;龚瑞 | 申请（专利权）人： | 安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B27/02 | 分类号： | C30B27/02 |
| 代理公司： | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人： | 王艳君 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市肥西县桃*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶体制备技术领域，具体公开了一种离子掺杂晶体生产设备及其生产工艺；该生产设备包括炉体、坩埚和加热系统，坩埚上部开设有通孔，通孔下部设有伸缩套筒，炉体上设有穿过伸缩套筒的伸缩提杆，坩埚外侧设有加热系统；加热系统启动后材料熔化为熔体，当伸缩套筒与熔体接触后，炉体通过进气装置充入保护气氛；本申请的熔体上部气氛分别为真空气氛和保护气氛，两气体环境通过伸缩套筒和熔体分隔开来，当伸缩套筒下降时，伸缩套筒两侧的熔体被排开进入真空室内，而伸缩套筒内的熔体界面会随伸缩套筒同步下降，既解决了籽晶上升法提杆易振动和蠕动的问题，又解决了坩埚下降法对设备要求高且存在安全隐患的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 掺杂 晶体 生产 设备 及其 生产工艺 | ||
【主权项】：
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