[发明专利]一种制备纳米圆锥形蜂窝结构的方法在审
| 申请号： | 202111580560.5 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN114231929A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 赵晓宇;梁龙杰;温嘉红;张鉴;郭筱洁;王雅新;钟家松;张永军 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/58;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 杨舟涛 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备纳米圆锥形蜂窝结构的方法，本发明以有序聚苯乙烯小球阵列为基础，用旋涂的方法将PVA胶搭建在小球上，以控制小球间隙，在利用磁控溅射的方式向样品表面共溅射银、二氧化硅膜，去掉小球后，对样品进行化学腐蚀，形成蜂窝圆锥形纳米结构。本发明设计并制备得到了一种纳米蜂窝圆锥形阵列结构，这种结构大大增强了比表面积和纳米圆锥间的空腔和间隙，增强了其SERS强度。本发明采用了物理化学共同处理的手段。提出一个崭新的实验方案设计并制备了所要获得的纳米图案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 纳米 圆锥形 蜂窝 结构 方法 | ||
【主权项】：
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