[发明专利]一种可自动控制膜厚精度的真空镀膜机

摘要

本发明公开了一种可自动控制膜厚精度的真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。本发明包括驱动基座、蒸发壁、顶板和监测装置，其中监测装置包括绝缘柱和两个电极板，两电极板分别设置于绝缘柱两端，且两电极板之间通过镀层导通电路。本发明通过在镀膜机中设置监测装置，利用两电极板与之间的绝缘柱，在生成镀层时导通电路，并通过测算电路中的电流和电压推算导出镀膜时间与镀膜厚度之间的函数关系，而后再利用推导出的关系控制镀膜时间实现对膜厚度的精度控制；通过设置驱动卡盘、从动旋盘、从动齿轮和传动齿轮构成的齿轮联动结构，使监测装置与镀件保持同步的旋转，使得镀件的镀膜厚度与绝缘柱的镀膜厚度保持相同，便于利用镀膜时间控制镀膜厚度。