[发明专利]一种微纳结构的激光加工与实时原位高分辨观测装置在审
| 申请号： | 202111588329.0 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114324436A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 宋娟;王宏剑 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G02B21/06;G02B21/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微纳结构的激光加工与实时原位高分辨观测装置，包括激光器、CCD相机和光源，激光器经过激光加工光路聚焦在样品上，光源经过照明光路倾斜照射在样品上，并通过显微成像光路反射到CCD相机中；激光束依次经过电子快门、渐变中性滤光片、长焦透镜、反射镜组、二向色镜和显微物镜聚焦在样品上，构成了激光加工光路；照明光依次经过短焦透镜、分束镜、二向色镜和显微物镜倾斜照射在样品上，构成了照明光路；样品反射的照明光依次经过显微物镜、二向色镜、分束镜进入CCD相机中，构成了显微成像光路。本发明在照明光路上采用短波长照明光，以斜入射照明样品的方式提高了成像质量，实现了在加工过程中对材料表面进行原位观测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 激光 加工 实时 原位 分辨 观测 装置 | ||
【主权项】：
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