[发明专利]一种MEMS垂直探针综合测试平台及测试方法有效
| 申请号： | 202111595372.X | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114252838B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 方续东;吴俊侠;孙昊;方子艳;吴晨;邓武彬;高博楠;赵立波;田边;蒋庄德;丁崇亮;申啸 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;渭南木王智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/02 | 分类号： | G01R35/02 |
| 代理公司： | 西安赛嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 61275 | 代理人： | 王伟超 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS垂直探针综合测试平台及测试方法，测试平台主要由探针位移台及其驱动装置、测力传感器及模拟焊盘装配板、多路开关电源模块、测力传感器信号采集模块及测试平台整体支承架五个部分构成。该测试平台及方法可实现对探针载流能力、疲劳寿命、工作超程下接触力大小、能否与焊盘进行有效电接触四项性能测试，并可实现对多根探针同时测试。所诉测试平台及测试方法具有成本低、操作简单、测试结果可靠性高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 垂直 探针 综合测试 平台 测试 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学;渭南木王智能科技股份有限公司，未经西安交通大学;渭南木王智能科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111595372.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
