[发明专利]电源组件、电源控制方法和溅射设备有效
| 申请号： | 202111601804.3 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114277341B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 于磊杰 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54;C23C14/52;H02J9/06 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 周永强 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开一种本申请实施例的目的是提供一种电源组件、电源控制方法和溅射设备，电源组件包括第一电源、第二电源、拨码开关和电流测量件，所述第一电源和所述第二电源并联设置，所述第一电源配置为与控制主机通信连接，所述第二电源通过所述拨码开关与所述第一电源主从连接；所述第一电源和所述第二电源的正极接地设置，所述第一电源和所述第二电源的负极均配置为与安装于溅射设备的腔室的靶材电性连接；所述电流测量件配置为与所述靶材电性连接，且所述电流测量件与所述控制主机通信连接，以传输所述靶材的实际电流于所述控制主机。上述电源组件可以及时发现作为从电源的电源失效的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 电源 组件 控制 方法 溅射 设备 | ||
【主权项】：
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